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Vakuumgebläse mit hermetischem Antrieb

Basierend auf den erfolgreichen Spaltrohrgebläsen für aggressive Gase hat die Aerzener Maschinenfabrik nun den Baukasten um neue hermetische Antriebe für den industriellen Einsatz mit nicht aggressiven Gasen erweitert.

Energie- und platzsparend

Als erste Baugrößen stehen die Typen GM 8000 HM und GM 9500 HM für Volumenströme von 8.000 bis 15.300 m³/h bei Drehzahlen von 50 und 60 Herz zur Verfügung. Durch die hermetische Ausführung wird ein Vakuum von 10-5 mbar (abs.) erreicht. Weitere Baugrößen im mittleren Volumenstrombereich von 2.000 bis 7.500 m³/h werden voraussichtlich ab Spätsommer 2009 eingeführt. Die neuen Antriebe sind wassergekühlt und werden mit einem neuartigen Spaltrohr ausgeführt, was die Energieeffizienz der Motoren um bis zu 30 Prozent erhöht. Durch den hermetischen Motor entfällt die Wellendurchführung zur Atmosphäre, mögliche Ölundichtigkeiten gehören damit der Vergangenheit an. Gleichzeitig können die Drehzahlen im Frequenzumrichterbetrieb auf bis zu 120 Herz erhöht werden. Kleinere Maschinen erreichen so einen höheren Volumenstrom. Ihr Einsatz spart nicht nur Kosten, sondern auch wertvollen Platz.

Baukastensystem

Dank dieser nun weltweit größten Spaltrohrund Hermetik-Baureihe kann der Kunde aus einem umfangreichen Baukastensystem den für seine Anwendung optimalen Gebläse- Motor-Typ auswählen. Dabei stehen Maschinen für den Einsatz bei nicht aggressiven Gasen (PVD-Anwendungen) wie bei aggressiven Gasen (CVD-Anwendungen) sowie mit unterschiedlichen Motorvarianten für den Betrieb an Schleusen- oder Prozesskammern zur Verfügung. Darüber hinaus zeichnen sich die Aerzener Gebläse durch eine hohe mechanische Belastbarkeit (bis 250 mbar) aus, wodurch sich die Abpumpzeiten erheblich verringern lassen. Die Wasserkühlung des Motors der Aerzener Gebläse ermöglicht zudem den Einsatz unter Reinraumbedingungen. Die Vakuumgebläse sind für die ATEX-Zone 0 (intern) baumustergeprüft und zertifiziert.